중국이 미국의 첨단 반도체 수출 규제에도 불구하고 자체 극자외선(EUV) 노광장비 시제품을 개발한 것으로 알려졌다. 이르면 2028년부터 이를 활용한 칩 생산에 나서겠다는 목표까지 세운 것으로 전해지면서, 기술 패권을 둘러싼 미중 간 경쟁이 다시 주목받고 있다.

극자외선 노광장비는 반도체 제조 과정에서 회로를 새기는 핵심 장비로, 현재 네덜란드의 반도체 장비업체 ASML이 세계에서 유일하게 생산하고 있다. EUV는 기존보다 훨씬 세밀하고 미세한 회로 패턴을 구현할 수 있어 7나노미터(㎚) 이하급 첨단 반도체 생산에 반드시 필요한 기술이다. ASML은 2001년 시제품 제작에 성공한 뒤, 2019년에 이르러서야 상업용 칩 생산을 위한…  더보기